chroma 7503 三維光學(xué)輪廓儀 測試

chroma 7503 三維光學(xué)輪廓儀

主要特色：階高量測分辨率可達0.1 nm使用白光干涉量測技術(shù)，非破壞性、快速表面形貌量測與分析模塊化設計可依量測需求及預算考慮進(jìn)行各部件選配可搭配彩色或單色相機進(jìn)行2D量測，使系統亦具備工具顯微鏡量測功能搭載電動(dòng)鼻輪，可同時(shí)掛載多種物鏡并程控切換使用可選擇LED光源或是鹵素光源量測范圍可涵蓋150 mm x150 mm整合低倍率物鏡(5X與2.5X倍率)，可進(jìn)行大面積3D量測提供多種表面參數量測功能，如斷差高度、夾角、面積、體積、粗度、起伏、薄膜厚度及平整度具備暗點(diǎn)以及邊界錯誤問(wèn)題修正算法友善的人機接口，簡(jiǎn)單的圖形化控制系統及3D圖型顯示可交換式的文件格式，可儲存與讀取數種3D輪廓文件格式強大的STA Master表面輪廓分析軟件，提供超過(guò)150種線(xiàn)、面輪廓參數計算自動(dòng)化快速自我校正，確認系統量測能力提供中/英文程序界面切換提供腳本量測功能，具備自動(dòng)量測能力

Chroma 7503三維光學(xué)輪廓儀乃利用掃描白光干涉技術(shù)所發(fā)展之次奈米三維光學(xué)輪廓量測儀，透過(guò)精密的掃描系統以及創(chuàng )新算法進(jìn)行微奈米結構物表面輪廓的量測與分析。并可依據需求搭配彩色或單色相機進(jìn)行2D量測，使系統亦具備工具顯微鏡量測功能，達到一機多用途的目的。Chroma 7503新一代的系統模塊化設計，具備高度彈性之組合配置，可針對不同之量測需求配置來(lái)符合不同之量測應用：搭載電動(dòng)鼻輪，多可同時(shí)掛載5種物鏡，使用時(shí)直接切換，省去手動(dòng)更換的麻煩。同時(shí)配備電動(dòng)調整移動(dòng)平臺，可對樣品作自動(dòng)調平及定位。垂直與水平軸向掃描范圍大，適合各種自動(dòng)量測之應用，樣品皆不需前處理即可進(jìn)行非破壞、快速的表面形貌量測與分析，適合使用于業(yè)界研發(fā)生產(chǎn)、制程改善以及學(xué)術(shù)研究等單位。Chroma 7503之高度分辨率可達0.1 nm，而搭配使用Z垂直軸量測掃描行程更可達到100mm，且水平軸向亦可達次微米解析，除此Chroma 7503 可透過(guò)計算機控制移動(dòng)平臺進(jìn)行水平掃瞄，使其水平軸向量測范圍可達到150 × 150mm，并可依據客戶(hù)需求修改平臺尺寸。Chroma 7503搭配快速的校正程序以及演算原理，系統校正結果可以追朔至NIST標準，并結合數種創(chuàng )新且強固可靠的算法，因此本系列產(chǎn)品可同時(shí)擁有高精準度以及大范圍量測的特質(zhì)。Chroma 7503系統配備自動(dòng)化掃描平臺，藉由垂直軸自動(dòng)化移動(dòng)平臺的掃描功能搭配快速的自動(dòng)對焦算法，可有效輔助用戶(hù)找到佳的對焦位置，另外藉由傾斜調整平臺可快速地將待測物調平，在短短的幾秒鐘之內無(wú)需繁復的操作，系統即可自動(dòng)將待測物體調整*對焦位置并予以調平進(jìn)行量測。

目前商用白光干涉分析儀常使用之質(zhì)心算法來(lái)計算表面高度，因光線(xiàn)繞射的效應在某些位置產(chǎn)生錯誤高度計算，造成量測結果邊界輪廓出現錯誤的信息，本系列產(chǎn)品采用新開(kāi)發(fā)3D Profiler Master量測軟件，并搭配Chroma干涉訊號處理算法來(lái)分析白光干涉圖譜，可將邊界錯誤問(wèn)題予以避免。此外，系統亦搭載Chroma的暗點(diǎn)處理功能，可有效過(guò)濾并修正無(wú)法產(chǎn)生干涉之問(wèn)題數據點(diǎn)，將這些暗點(diǎn)去除后可降低量測上的誤差。由于暗點(diǎn)處理的機制在資料擷取期間執行，因此暗點(diǎn)濾除功能可有效率的執行，由于暗點(diǎn)乃參考其附件周?chē)鷶祿?lái)進(jìn)行修正，因此可使得量測更加強固且可靠。STA (Surface Texture Analysis) Master軟件針對表面輪廓數據分析、修正以及圖標提供完整的面形貌呈現，更提供超過(guò)150種線(xiàn)或面的輪廓參數計算，其中包含粗度、起伏、平整度、頂點(diǎn)與谷點(diǎn)等參數資料，高通濾波、低通濾波、快速傅立葉變換以及尖點(diǎn)移除空間濾波等工具提供使用者進(jìn)行高/低/帶通訊號濾除，且軟件亦具備多項式擬合、區域成長(cháng)、整面及多區域調平方法，可靈活運用于數據處理與分析上。在眾多高科技產(chǎn)業(yè)中，諸如半導體、平面顯示器、光纖通訊、微機電(MEMS)、生物醫學(xué)與電子封裝等，由于微結構表面輪廓的準確性決定了產(chǎn)品的效能與功能，在其制程中皆需針對微結構的表面輪廓質(zhì)量進(jìn)行監測。有鑒于此，Chroma 7503提供多種表面參數量測功能，如斷差高度、夾角、面積、體積、粗度、起伏、薄膜厚度及平整度以滿(mǎn)足業(yè)界與研究單位之需求。Chroma 7503兼具2D與3D量測，搭配快速倍率切換以及大面積接圖功能能應付產(chǎn)業(yè)界的各種應用需求。此外更加入彈性的模塊化設計，可依客戶(hù)端實(shí)際的應用需求進(jìn)行搭配，讓用戶(hù)可在價(jià)格與功能規格之間取得平衡，是您提升效率及節省成本的佳選擇。7503 三維光學(xué)輪廓儀 Imaging system 影像系統 640x480 pixel (mono),640x480 pixel (color), 1000x1000 pixel (mono) *1, 1000x1000 pixel (color) *1 Interference ive lens 一般物鏡 2.5X *2, 5X, 10X, 20X, 50X, 100X Conventional ive lens 干涉物鏡 5X, 10X, 20X, 50X, 100X Tube lens 筒鏡 0.45X, 0.5X, 1.0X Nose gear 鼻輪 None, Manual rotary 5 holes, Electric rotary 5 holes Light Source 光源 White light LED, Halogen, Mono LED Software 軟件 STA Master 7503 service Measurement Service

深圳市美佳特科技有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“美佳特"）成立于2010年，致力于光通訊測試、通用電子測量及5G測試服務(wù)。美佳特以“無(wú)線(xiàn)溝通，溝通無(wú)極限 "企業(yè)使命，業(yè)務(wù)聚焦于精密測試測量?jì)x器的租賃、銷(xiāo)售、維護、計量及測試環(huán)境搭建等一站式服務(wù)。chroma 7503 三維光學(xué)輪廓儀 測試

主營(yíng)產(chǎn)品：示波器主機和模塊、眼圖儀、光譜儀、信號源、頻譜分析儀、網(wǎng)絡(luò )分析儀、阻抗分析儀、光通信儀器、誤碼儀、光時(shí)域反射儀、可調諧激光源、光功率計、光衰減器等。合作品牌：安捷倫、是德、泰克、安立、愛(ài)得萬(wàn)、安騰、力科、馬可尼（IFR）、R&S、EXFO等。chroma 7503 三維光學(xué)輪廓儀 測試

主推：Agilent 86100D/C 示波器,keysight M8195A 任意波形發(fā)生器,Anritsu MS9740B/A 光譜分析儀,YOKOGAWA AQ6370D/E 光譜分析儀,keysight N1092A/C 采樣示波器,keysight E8257D 模擬信號發(fā)生器,keysight E5071C 矢量網(wǎng)絡(luò )分析儀