srs UGAPM100 氣體分析儀

srs UGAPM100 氣體分析儀

UGAPM系列過(guò)程監測系統是設計用于分析過(guò)程氣體的現代質(zhì)譜儀。入口以低流速（約 5x10-5 mbar L/sec）連續采樣氣體，使該儀器成為在線(xiàn)分析的理想選擇。UGAPM 系列過(guò)程監測儀運行范圍為 1 mTorr 至 20 Torr100、200 和 300 amu 系統<1.5 秒響應時(shí)間 （0.1 Torr）多點(diǎn)分析多范圍應用幾乎零死體積系統烘烤和樣品線(xiàn)加熱UGAPM 系列過(guò)程監測系統UGAPM 系列過(guò)程監測系統是專(zhuān)為分析過(guò)程氣體而設計的現代質(zhì)譜儀。它們的工作范圍為 20 Torr 至 1 mTorr。入口以低流速（約 5x10-5 mbar L/sec）連續對氣體進(jìn)行采樣，使該儀器成為在線(xiàn)分析的理想選擇。UGAPM 應用包括 CVD/PECVD/RIE/LPCVD/MOCVD、真空鍍膜/等離子體蝕刻、蒸發(fā)、濺射沉積、真空熱處理、目標老化、泄漏檢測/虛擬泄漏/解吸、污染物研究、小體積分析（0.1 mL 范圍）等。這些分析儀也易于操作和維護。所有組件都可以從前面板或遠程計算機進(jìn)行控制。在UGAPM系統中，使用外徑為1/16“或1/8"的SS毛細管來(lái)適應中真空采樣。通過(guò)這種配置，工藝室和分析儀之間的死體積幾乎為零。工作原理UGAPM內部視圖UGAPM系統使用單級毛細管減壓入口對1 mTorr至20 Torr的氣體進(jìn)行采樣。在壓力降低到10-6 Torr左右后，氣流被發(fā)送到質(zhì)譜儀（殘余氣體分析儀-RGA），該質(zhì)譜儀測量每個(gè)目標質(zhì)量的濃度。UGAPM Windows 軟件為復雜的圖形繪制和數據分析提供了圖形用戶(hù)界面。該軟件還允許遠程控制系統的閥門(mén)、加熱器和泵。多毛細管入口可選的多入口閥有兩種可能的配置。一種是多通道配置，可以應用于不同位置的特定樣品壓力。另一種是多量程配置，可應用于各種范圍的樣品壓力。

深圳市美佳特科技有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“美佳特"）成立于2010年，致力于光通訊測試、通用電子測量及5G測試服務(wù)。美佳特以“無(wú)線(xiàn)溝通，溝通無(wú)極限 "企業(yè)使命，業(yè)務(wù)聚焦于精密測試測量?jì)x器的租賃、銷(xiāo)售、維護、計量及測試環(huán)境搭建等一站式服務(wù)。N2843A Keysight 無(wú)源探頭 Keysight 是德

主營(yíng)產(chǎn)品：示波器主機和模塊、眼圖儀、光譜儀、信號源、頻譜分析儀、網(wǎng)絡(luò )分析儀、阻抗分析儀、光通信儀器、誤碼儀、光時(shí)域反射儀、可調諧激光源、光功率計、光衰減器等。合作品牌：安捷倫、是德、泰克、安立、愛(ài)得萬(wàn)、安騰、力科、馬可尼（IFR）、R&S、EXFO等。N2843A Keysight 無(wú)源探頭 Keysight 是德

主推：Agilent 86100D/C 示波器,keysight M8195A 任意波形發(fā)生器,Anritsu MS9740B/A 光譜分析儀,YOKOGAWA AQ6370D/E 光譜分析儀,keysight N1092A/C 采樣示波器,keysight E8257D 模擬信號發(fā)生器,keysight E5071C 矢量網(wǎng)絡(luò )分析儀

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